Hochenergie-Ionenimplantation
Rubitec/RUBION führen im Kundenauftrag Ionenbestrahlungen im MeV Bereich durch. Dabei steht ein großes Spektrum an unterschiedlichen Ionen zur Verfügung. Der verfügbare Energie- und Dosisbereich ist dabei von der jeweiligen Spezies und der Wafer-Größe abhängig. Die Angaben zur maximalen Dosis in der Tabelle beziehen sich auf 150 mm – Wafer.
| Ionensorte | Energie-Bereich (MeV) | max. Dosis (cm-2) |
| 1H, 2H | 0.4 – 8.0 | ~ 5 x 1014 |
| 4He | 0.4 – 12.0 | ~ 5 x 1013 |
| 11B | 0.4 – 12.0 | ~ 3 x 1013 |
| 12C | 0.4 – 16.0 | ~ 5 x 1014 |
| 28Si | 0.4 – 16.0 | ~ 5 x 1014 |
| 31P | 0.4 – 16.0 | ~ 3 x 1013 |
Neben den aufgeführten Ionensorten sind auch Hochenergie-Ionenbestrahlungen mit Li, N, O, Al, Ni, etc. möglich. Die Möglichkeiten werden von uns anwendungsabhängig auf Anfrage ermittelt.