rubitec GmbH

techn. Anwendungen

Die RUBION-Beschleuniger werden eingesetzt für Zwecke der Forschung aber auch Kooperationsprojekte mit der Industrie wie beispielsweise:

  • geologische Altersbestimmungen
  • Materialforschung
  • Materialanalyse mit Ionenstrahlen
  • oberflächennahe Modifikation von Materialeigenschaften
  • Erzeugung neuartiger Materialien / Materialstrukturen
  • Herstellung von ultra-isotopenreinen Targets für die Astrophysik
  • Erzeugung von Farbzentren in Diamant
  • Dotierung von Halbleitern
  • Hochenergie-Ionenimplantation von Leistungshalbleitern

Anwendungen liegen hier insbesondere in den Bereichen:

  • Hochenergie-Ionenimplantation für die industrielle Anwendung
    • mit dem 4MV-Bescheuniger
    • mit drei Endstation (ROBOT, HVEC, NV10) für Wafergrößen bis zu 200mm
  • QM-System nach DIN EN ISO 9001 : 2015

Langjährige Erfahrung in Forschung, Entwicklung und Industriekooperation haben RUBION zu einem Markenzeichen der Ruhr-Universität Bochum mit nationaler und internationaler Ausstrahlung werden lassen.

rubitec GmbH

Universitätsstraße 142
44799 Bochum

Tel.: +49(0) 234 - 32 - 11950
Fax: +49(0) 234 - 32 - 14194

E-Mail: rubitec@rubitec.de

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