Forschung & Entwicklung
Im Auftrag industrieller Partnern werden kundenspezifische Forschungs- und Entwicklungsprojekte unter Nutzung hochenergetischer Ionenstrahlen durchgeführt.
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Hochenergie-Ionenimplantation
Die Hochenergie-Ionenimplantationen verbessert die Produkteigenschaften von Leistungshalbleitern. Ionensorte, Energie und Dosis können dabei in weiten Bereichen variiert werden.
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Ionenstrahlanalytik
Mit einer breiten Palette an unterschiedlichen Techniken (RBS, NRA, DIGE und PIXE) lassen sich dünne Schichten zerstörungsfrei untersuchen.
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Oberflächenmodifizierung
Durch das Einbringen von speziellen Ionen in die Randschichten eines Materials oder durch spezielle Beschichtungen der Oberflächen lassen sich die Eigenschaften eines Produktes im oberflächennahen Bereich ändern.
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200mm Implantationen verfügbar
Nach erfolgreicher Umrüstung einer Anlage ist die rubitec seit Beginn des Jahres in der Lage alle angebotenen Implantationen auch auf 200mm Wafern anzubieten. Das Handling der Wafer erfolgt dabei zur[...]
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