techn. Anwendungen

Die RUBION-Beschleuniger werden eingesetzt für Zwecke der Forschung aber auch Kooperationsprojekte mit der Industrie wie beispielsweise:

• geologische Altersbestimmungen
• Materialforschung
• Materialanalyse mit Ionenstrahlen
• oberflächennahe Modifikation von Materialeigenschaften
• Erzeugung neuartiger Materialien / Materialstrukturen
• Herstellung von ultra-isotopenreinen Targets für die Astrophysik
• Erzeugung von Farbzentren in Diamant
• Dotierung von Halbleitern
• Hochenergie-Ionenimplantation von Leistungshalbleitern

Anwendungen liegen hier insbesondere in den Bereichen:

• Hochenergie-Ionenimplantation für die industrielle Anwendung
  • mit dem 4MV-Bescheuniger
  • mit drei Endstation (ROBOT, HVEC, NV10) für Wafergrößen bis zu 200mm
• QM-System nach DIN EN ISO 9001 : 2015

Langjährige Erfahrung in Forschung, Entwicklung und Industriekooperation haben RUBION zu einem Markenzeichen der Ruhr-Universität Bochum mit nationaler und internationaler Ausstrahlung werden lassen.